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德国光学巨头蔡司半导体业务负责人表示: 中国想要研发出euv及紫外光刻机还需要大

德国光学巨头蔡司半导体业务负责人表示:
中国想要研发出euv及紫外光刻机还需要大约15年,这是一个合理的假设,但是中国真实研发速度很难量化,我们没办法准确判断。
同时出口管制反而会刺激中国加速自主创新。

他说的15年只是合理假设,并不是板上钉钉的事,他自己也承认,没办法准确摸清我们的真实进度。

出口管制确实会影响创新进度,像全套设备,零部件图纸买不到,只能自己一点点去摸索。

但同时另一方面他也承认出口管制会倒逼中国加大投入,加速自主创新,进度有可能会比预估更快。

能够量产euv光刻机确实还有很长的路要走。
就算能够制造出实验室样机和能够放到晶圆厂24小时不停稳定生产芯片完全是两回事,能造出样品不等于良品率,寿命维护全都达标,就算造出样品机到商业化还需要很长的时间要走。


举个例子吧,就算能够造出实验室样机能刻出芯片,能代表原理走通了,实验室样机可以不在乎成本,可以不计代价打磨零部件可以不计良率,100片里面哪怕只成功了一片也没有关系,可以天天安排工程师守在旁边调试坏了就行,但是他不保证丢进工厂24小时能够连轴转的生产。

Euv光刻机要想商业化,必须三件事全都达标:

第一:能够稳定的制造出对应规格的芯片
第二:生产出来芯片大部分都是合格品,良率比较高
第三:光刻机可以成年累月连续运行,故障率低。维护费用不能贵到离谱。

如果搞出一台euv原型机,很大概率会遇到性能勉强达标,但是良率低,设备维护费用极其昂贵,或者是故障率高,动不动就要停机大修。

那么你造出来的芯片价格比较高。也就失去了竞争力,毕竟工厂买设备是用来挣钱的,不是用来放在实验室当展览品的。

当然了,能够制造出实验室样品可以培养工程师吃透euv技术难点,然后来测试新型的材料和光学组件。也是走向商用必不可少的一环。

技术研发没办法用具体多少年来验证,如果某一个关键环节实现了重大突破,时间可能会缩短,但如果某些关键材料持续无法突破,时间也有可能会拉长。

目前来看,7nm及以下顶尖芯片我们确实很难自主研发,像成熟的14nm芯片,28nm芯片,我们已经实现了突破,制造厂EUV光刻机,也只不过是时间问题。