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没想到中国光刻胶研发的“大佬”级别的人物竟然是她。 她就是2026年新晋中华人民

没想到中国光刻胶研发的“大佬”级别的人物竟然是她。
她就是2026年新晋中华人民共和国国际科学技术合作奖得主——艾尔莎·瑞秋曼尼斯。 可能不少人对这个名字很陌生,但在全球半导体光刻材料领域,她绝对是殿堂级的大佬。

说出来可能有人第一反应犯嘀咕,咱们光刻胶领域的重量级合作者,居然是位美国学者?

还真别觉得意外,这位 73 岁的拉脱维亚裔化学家,手里攥的是整个现代光刻胶产业的底层逻辑,说她是深紫外光刻胶的奠基人都算客气,业内更直白的说法是,现在全球所有先进芯片产线上的光刻胶,根子上都绕不开她当年在贝尔实验室磨出来的那套配方思路。

时间倒回上世纪八十年代,全球芯片制程还卡在微米级晃悠,业界想靠波长更短的深紫外光把电路线条刻得更细,可偏偏传统光刻胶对这种光几乎 “不感光”,就像拿老式胶卷拍红外照片,按半天快门也出不来清晰图案。

当时多数团队都在死磕提升胶本身的吸光率,唯独瑞秋曼尼斯走了条完全不同的路:她往胶里加了种叫 “光酸产生剂” 的物质,一个光子打上去先激发出微量的酸,再靠酸当催化剂,在后续烘烤环节撬动成百上千个分子发生反应,相当于把一个光子的威力放大了上百倍。

就这么个思路,直接把光刻胶灵敏度翻了几十倍,让深紫外光刻从实验室概念落地成了可大规模量产的技术。

后来从 248 纳米到 193 纳米制程,甚至现在 EUV 光刻的底层化学逻辑里,都还留着她当年的设计影子。

当年在贝尔实验室的洁净室里,她经常盯着涂完胶的晶圆一看就是大半天,跟着身边的华裔研究员一起调参数,拿着铅笔在图表上反复圈改酸扩散的数值,硬生生磨出了第一套能上产线的工业化配方。

很多人好奇这样级别的学者,怎么会和中国科研圈走得这么近,其实这份渊源早在贝尔实验室时期就结下了。

她带过的学生里华裔面孔占了不小比例,这些人里后来有的成了中科院院士,有的进了国内晶圆厂扛起材料研发的大梁,算是最早的一批技术纽带。

2005 年她就带着美国化学会代表团正式访华,跟国内高校和科研院所签了一堆合作框架,当时还有同行提醒她 “注意分寸”,她没往心里去,之后几乎每年都要往中国飞两三趟,比不少国内高校教授出差还勤。

2013 年她正式和东华大学先进纤维材料全国重点实验室搭起长期合作的班子,不光担任国际咨询委员会负责人,还实打实联合培养博士生,带着团队攻坚前沿材料研究。

熟悉她的人都知道她对数据较真到有点偏执,国内的学生做实验熬到凌晨三点,隔着十二小时时差,她那头也开着视频陪着推导公式,偶尔家里的猫跳上键盘打乱公式,她还会笑着打趣,说连猫都想来凑科研的热闹。

其实这次把国际科技合作奖颁给她,本质上不是说她直接帮我们造出了最顶尖的光刻胶,更多是认可她十几年来扎扎实实的人才培养和基础研究交流。

高端材料这种东西从来不是靠某一个单点突破就能翻身的,得有扎实的底层机理研究、成体系的人才梯队,这些看不见的积累,恰恰是她带来的最有价值的东西。

她自己也说过,“我培养的是人,不是武器”,基础科学的边界从来不该被地缘划死,真正的技术进步,本来就是在不同头脑的碰撞里慢慢磨出来的。

现在总有人把半导体领域描述成全然对抗的战场,可偏偏总有这样的学者,愿意跨过那些杂音,抱着对科学本身的执念做交流。

这个奖颁给她,既是给一位科学家的贡献盖章,也是咱们实打实的态度 —— 要啃下高端光刻胶这种硬骨头,闭门造车从来都不是最优解,开放的合作永远比封闭的对抗更能推着技术往前走。