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【DUV光刻机榨到极限!长鑫G6内存面积再缩30%:键合工艺首次登场】国产长鑫下一代G6内存技术参数流出,将全程用DUV工艺生产,最快2028年推出,芯片单元面积缩减30%,引入晶圆级混合键合技术,在缺EUV条件下逼近DUV工艺物理极限,后续G7将转向3D DRAM架构。 ​

【DUV光刻机榨到极限!长鑫G6内存面积再缩30%:键合工艺首次登场】国产长鑫下一代G6内存技术参数流出,将全程用DUV工艺生产,最快2028年推出,芯片单元面积缩减30%,引入晶圆级混合键合技术,在缺EUV条件下逼近DUV工艺物理极限,后续G7将转向3D DRAM架构。 ​