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透视硅片、穿透迷雾:一文读懂短波红外(SWIR)成像技术

导语在机器视觉的世界里,我们常说:“所见即所得”。但在很多高端制造和特殊检测场景中,“看不见”才是最大的痛点。当硅基传感

导语

在机器视觉的世界里,我们常说:“所见即所得”。但在很多高端制造和特殊检测场景中,“看不见”才是最大的痛点。

当硅基传感器在 1.0μm 波长处“失明”,当可见光无法穿透硅片内部的微裂纹,当普通的工业相机在烟雾缭绕的环境中束手无策时,我们该怎么办?

答案藏在电磁光谱的一段特殊区域——短波红外(SWIR)。

今天,我们将深入探讨这项正在改变半导体检测、食品分选及安防领域的关键技术。从 InGaAs 传感器的原理,到为什么你不能随便拿一个可见光镜头去匹配 SWIR 相机,我们将为您一一揭秘。

一、什么是短波红外(SWIR)?

——定义光谱的“黄金波段”

在光学定义中,短波红外(Short-Wave Infrared,简称 SWIR)通常指波长范围在0.9μm至1.7μm之间的光线。在某些更广泛的定义中,这一范围甚至可以延伸至 0.7μm - 2.5μm。

这就引出了一个物理学上的尴尬区间:

• 我们常见的硅(Silicon)传感器,其感光上限大约在 1.0μm。超过这个波长,硅传感器就变成了“瞎子”。

• 而主要用于热成像的中波红外(MWIR)和长波红外(LWIR),其波长又远大于此。

为了填补这一空白,砷化铟镓(InGaAs)传感器应运而生。InGaAs 是目前 SWIR 成像的主流技术,它完美覆盖了典型的 SWIR 频带,甚至可以扩展低至 550nm,高至 2.5μm。

冷知识:虽然市场上已经有线扫描(Line Scan)的 InGaAs 传感器,但面阵(Area Scan)InGaAs 传感器由于技术敏感性,往往受到ITAR(国际武器贸易条例)的严格限制。这意味着,高性能的 SWIR 相机在进出口时需要严格的合规审查与许可。

二、为什么我们需要SWIR?

——看见“不可见”的物理魔法

很多工程师会问:“为什么不用热成像?热成像也能看夜视啊。”

这里有一个核心的区别:SWIR的成像机理更接近可见光,而非热成像。

在中波或长波红外(热成像)中,我们看到的是物体自身辐射出的热量;而在 SWIR 波段,光子主要还是被物体反射或吸收的。这意味着:

• 高分辨率与高对比度:SWIR 图像拥有类似黑白照片的阴影和对比度,易于识别物体特征,这是模糊的热成像无法比拟的。

• 夜视能力:即使在没有月光的夜晚,大气辉光(Nightglow)也会辐射出 SWIR 光线,为户外成像提供天然的“照明”。

但 SWIR 真正的杀手锏,在于它能让特定材料“变身”:

1.让硅(Silicon)变得透明

这是半导体行业最看重的特性。对于可见光而言,硅片是不透明的黑色物体;但在 SWIR 波段下,硅材料是透明的。

应用场景:我们可以直接透过硅片背面,检查正面的电路对齐情况、内部裂纹或键合缺陷。

2.区分“看起来一样”的物质

在可见光下,水、油、塑料看起来可能都是透明液滴;苹果上的淤青和红色的果皮可能颜色相近。

但在 SWIR 下,水会强烈吸收光线(呈现黑色),而其他物质可能反射光线。

应用场景:农产品淤伤检测(淤伤处含水量高,SWIR下呈黑色)、塑料分选、药物成分分析。

3.穿透烟雾与薄雾

瑞利散射定律告诉我们,波长越长,散射越少。SWIR 的波长比可见光长,因此能更好地穿透雾霾、烟尘。

应用场景:森林防火监测、长距离安防监控。

三、最大的误区:镜头能通用吗?

——千万别给SWIR相机配可见光镜头!

这是很多初次接触 SWIR 的开发者最容易踩的坑。既然 InGaAs 相机接口也是 C-Mount 或 F-Mount,我能不能直接拧上一个普通的单反镜头或者工业镜头?

答案是:绝对不行。

如果你在 SWIR 相机上使用普通可见光镜头,你会遇到两个灾难性的后果:

1.图像模糊(分辨率大幅下降)

普通镜头是针对可见光(400-700nm)设计的。光学玻璃在 SWIR 波段的折射率与可见光截然不同。

这意味着,可见光下聚焦清晰的点,在 SWIR 波段会发生严重的色差(Chromatic Aberration)和球差。结果就是:你买了几十万的 InGaAs 相机,却拍出了一张像蒙了磨砂玻璃一样的模糊照片。

2.根本没有光(透过率极低)

普通镜头为了减少反光,表面都镀有增透膜(AR Coating)。这些膜系是专门针对可见光优化的。

遗憾的是,针对可见光优化的镀膜,在 SWIR 波段往往会变成“反射膜”或“吸收膜”。光线还没到达传感器,就被镜头玻璃和镀膜“吃”掉了。

正确的做法:必须使用专门设计、优化并镀有SWIR增透膜的镜头。

• 特殊玻璃材料:选用在 SWIR 波段高透射的玻璃。

• SWIR镀膜:确保 900-1700nm 波段的光线透过率最大化。

• 光学设计:专门校正 SWIR 波段的像差,确保成像锐度。

四、行业应用全景图

——SWIR正在改变哪些行业?

随着工业 4.0 的推进,SWIR 技术已经从军用走向了广泛的商用领域:

• 电子半导体:晶圆检测、芯片键合对准、太阳能电池板隐裂检测(EL/PL 检测)。

• 食品与农业:水果淤伤分选(透过果皮看果肉)、异物剔除(在冷冻蔬菜中发现石子或塑料)。

• 工业分选:废旧塑料回收(区分 PET、PVC 等不同材质)、纺织品成分分析。

• 高端安防:港口透雾监控、边境巡逻、反伪装识别。

• 防伪检测:钞票、名画的真伪鉴定(透过表面颜料看底层草稿)。

结语与展望

短波红外(SWIR)不仅仅是视觉光谱的延伸,更是工业检测能力的维度提升。它让我们拥有了穿透表象、直视本质的能力。

对于光学系统设计者而言,SWIR 系统的搭建不仅仅是换一个相机那么简单。从光源的选择、滤光片的匹配,到核心成像镜头的选型,每一个环节都需要针对 0.9-1.7μm 这个波段进行严谨的考量。

韵翔光电在 SWIR 领域拥有深厚的技术积累。我们提供全系列的 SWIR 成像镜头,采用针对 SWIR 光谱优化的玻璃材料与镀膜工艺,旨在为您的高端检测系统提供“像素级”的清晰度。

不要让镜头成为你系统的短板。