国产 EUV 光源样机首次公开亮相,输出 >15W,量产还要 3–5 年 上海初创朗道燧岩(Langdao Silex)在工博会展出 LPP 光源,国产化率 90%。官网参数:EUV 输出 >15W,连续运行 >100 小时,目前只能做曝光测试。商用光刻机需要几百瓦级的光源,所以这一步只验证了技术路线可行,功率和稳定性离替代 ASML
国产 EUV 光源样机首次公开亮相,输出 >15W,量产还要 3–5 年
上海初创朗道燧岩(Langdao Silex)在工博会展出 LPP 光源,国产化率 90%。官网参数:EUV 输出 >15W,连续运行 >100 小时,目前只能做曝光测试。商用光刻机需要几百瓦级的光源,所以这一步只验证了技术路线可行,功率和稳定性离替代 ASML