日前，尼康公司宣布将于2024年1月正式推出ArF193纳米浸没式光刻机“NS

南斗星君 2023-12-14 12:34:09

日前，尼康公司宣布将于2024年1月正式推出ArF 193纳米浸没式光刻机“NSR-S636E”。据说，这款光刻机采用增强型iAS设计，可用于高精度测量、圆翘曲和畸变校正，重叠精度(MMO)更高，号称不超过2.1纳米。而这种技术路线的光刻机在生产效率、套刻精度都会有进一步提升。不过，目前尚不清楚尼康公司推出的这款光刻机能制造多少纳米的芯片。在尼康公司也有新技术的光刻机之后，高精度光刻机也就不再只是由荷兰阿斯麦公司的垄断了。

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评论列表

用户18xxx65

2

2023-12-15 00:36

这个必须自己造！自主可控

用户123456789

2

2023-12-15 06:11

必须买来

感谢大家的关注

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