这是俄国所谓的“考古式”光刻机核心组件科研——65纳米及以下的准分子激光器 莫斯科的拉萨德公司： 1，两台193纳米准分子激光器作为“进步130”项目的一部分投入生产, 且2026年8月，俄罗斯宣布其130纳米设计标准光刻机的第三阶段研发工作已完成； 2，首款波长65纳米及以下的准分子激光器完成了工程
这是俄国所谓的“考古式”光刻机核心组件科研——65纳米及以下的准分子激光器
莫斯科的拉萨德公司：
1，两台193纳米准分子激光器作为“进步130”项目的一部分投入生产, 且2026年8月，俄罗斯宣布其130纳米设计标准光刻机的第三阶段研发工作已完成；
2，首款波长65纳米及以下的准分子激光器完成了工程
