没有一台EUV,长鑫把DRAM做到11.95nm,但先别急着喊"追平三星"
9月20日,长鑫存储扔出一颗重磅消息:第五代DRAM平台G5量产,有源区半间距做到11.95纳米,全程没用一台EUV光刻机,靠DUV四重曝光(SAQP)硬啃出来。每片晶圆产出裸片比上一代多50%,24Gb的LPDDR5X已经装进国产旗舰手机。
消息一出,不少标题写"长鑫追平三星"。这话,得先拆一拆。
那个"50%提升",是理论密度,不是良率。长鑫自己文件的注释写得很清楚——DPW是按8Gb颗粒基准换算的,说的是排布更密、理论上能切出更多裸片,不等于良率也涨了50%。四重曝光比单次曝光多出好几道工序,每一道都多一分套刻误差和缺陷风险。真实良率多少,长鑫没公布,第三方拆解也没出。这才是接下来最该盯的数字。
“11.95nm"和三星的"12nm级”,也不是同一把尺子。长鑫量的是有源区半间距,三星用的是世代命名,换算下来长鑫的实际间距大约23.9nm,落在三星、SK海力士早就量产的1b级区间里。同一量级,不等于同一水平。
而且DRAM只是一半的牌。真正值钱的HBM,长鑫基本还是空白,SK海力士的HBM3E已经吃掉了AI训练的大头。移动端LPDDR能突围,和高端存储全面追赶,是两码事。
所以该夸就夸:在买不到EUV的前提下,把DUV榨到极限,把四重曝光做进量产,这是真功夫,国产存储确实又近了一步。该冷静也得冷静:产出是理论值,对标是单维度,HBM那笔账还没算。
这大概就是国产存储最真实的样子——不是弯道超车,是硬熬。