美国贸易代表在发布会上,抛出一枚重磅炸弹:中国,有了一台EUV光刻机。 荷兰政府:“我们没卖。”光刻机制造商阿斯麦:“不是我们的。”
这事儿就透着一股蹊跷,美国商务部长卢特尼克(Howard Lutnick)言之凿凿,多次开会向阿斯麦高层施压,说你们的顶级EUV光刻机可能已经到了中国。
阿斯麦那边都快急出内伤了,赶紧写了份报告在华盛顿到处发,标题就叫《没有任何迹象表明阿斯麦EUV系统在中国》。
他们解释说,这东西有一辆校车那么大,重180吨,还得有自家工程师常年驻场维护。
全球总共就那三百来台,每一台在哪儿、干了什么,系统里都一清二楚,想偷偷运走一台,简直是天方夜谭。
阿斯麦甚至都进入了“危机模式”,就为了自证清白。
那问题来了,如果阿斯麦没卖,中国也没有,美国人为什么这么紧张?是不是他们听到了什么风声,但又找错了方向?
大家都在盯着那条用高能激光轰击锡靶的老路,觉得离开了阿斯麦,EUV就是个遥不可及的梦,可万一,有人压根就没打算走这条路呢?
就在外界还在为“有没有一台EUV”争论不休时,清华大学唐传祥教授的团队,早就在一条新赛道上跑了很久。
他们搞出了一套名为“稳态微聚束”(SSMB)的技术原理,并且成果发表在了顶尖期刊《自然》上,引起了全球学术界的轰动。
这个SSMB技术,简单来说,就是另起炉灶,不用激光打锡滴了。
它用一个环形加速器,把电子束加速,再用激光巧妙地“编队”。
让这些电子束团在环里一圈圈跑的时候,形成精密的“微聚束”结构,从而辐射出高功率、高纯度的极紫外光(EUV)。
这相当于绕开了阿斯麦那套复杂又被严密封锁的光源系统,直接从最底层的物理原理上,找到了另一条通往EUV光源的道路。
所以,回过头来看美国的指控,就有点意思了。
他们满世界找一台“偷运”的机器,或许是基于一种惯性思维,认为别人只能模仿和追赶。
但他们可能没意识到,当一条路被堵死的时候,真正的破局者,想的不是怎么把墙推倒,而是直接在旁边修一条全新的路。
这可能才是让他们真正感到不安的原因:他们封锁的是旧地图,而有人已经拿出了新航线。
