【ETF收评：科创半导体设备ETF领涨7.55%，电力ETF领跌4.94%】5月20日，ETF收盘涨跌不一，科创半导体设备ETF（589020）领涨7.55%，科创半导体设备ETF（588710）涨6.67%，科创半导体ETF（588170）涨6.67%，电力ETF（159611）领跌4.94%，电力ETF（561700）跌4.85%，电力ETF（562350）跌4.84%。