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英诺激光:已推出脉冲和连续深紫外激光器 适用于晶圆缺陷检测

上证报中国证券网讯英诺激光21日在互动平台上回答投资者提问时表示,作为全球少数实现工业深紫外激光器批量供应的生产商之一,公司已推出脉冲和连续深紫外激光器,适用于晶圆缺陷检测,已开发若干客户,产品进入验证阶段。