在3nm芯片生产中，台积电和三星依赖于几种稀土元素： 铈：用于晶圆的化学机械抛光 。 镧和钇：在晶体管的高介电电介质中。 钕和镝：用于晶圆厂设备的磁铁。 铕：用于掺杂GaN等先进材料。 早就该对台积电实行稀有元素的管控。
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