“光刻机，国产的，跑起来了！”
中芯国际悄悄把上海初创“宇量昇”的DUV机台推进试车间，浸没式光源一亮，硅片开始跳舞。
网友：大部分零件国产，但镜头组还得从德日买，急啥，先跑通再说。
网友：这路子跟ASML当年一样，先做DUV，再攻EUV，只是ASML现在被禁令锁喉。
查资料，宇量昇去年才成立，核心班底来自原上海微电子和华为2012实验室，专利池里已躺了73项浸没式相关发明。
供应链名单显示，激光器来自北京科益虹源，浸液系统苏州同羿操刀，唯一卡住的是193nm ArF激光腔镜，全球能做的不超五家。
跑机数据：首片试产为14nm逻辑芯片，良率48%，比ASML同代机低15个百分点，但工程师说“调三个月就能追平”。
下一步，他们把光源功率从90W提到120W，目标年底冲击7nm。
