国产光刻机10大核心受益企业
1. 上海微电子：国内唯一量产前道光刻机的企业（未上市），是国产光刻机整机核心。
2. 福晶科技：激光晶体龙头，产品用于光刻机激光光源，全球市占率超60%。
3. 茂莱光学：DUV投影物镜核心供应商，已进入上海微电子供应链。
4. 华特气体：ASML认证光刻气供应商，打破国外垄断，保障光刻气体需求。
5. 奥普光电：参与EUV物镜研发，背靠长春光机所，技术实力雄厚。
6. 南大光电：国内唯一量产ArF光刻胶的企业，通过中芯国际验证。
7. 新莱应材：为ASML提供真空系统部件，是光刻机真空环境核心保障。
8. 炬光科技：高功率激光器龙头，产品应用于光刻机激光光源模块。
9. 雅克科技：布局EUV光刻胶前沿，为下一代光刻技术打基础。
10. 中微公司：刻蚀设备国产龙头，与光刻机协同，完善芯片制造产业链。
