国产光刻胶产业链龙头公司:
1.整机制造和投资平台
上海微电子:国内唯一量产90nm光刻机，推进28nm商业验证
张江高科:持股上海微电子
新凯莱:手持100亿订单，中国光刻机希望之星。
2.光源系统:
凯美特气:打破海外垄断，国内唯一通过阿斯迈认证的光刻气供应商。
福晶科技:激光晶体市占率60%，参与国内光刻机光源研发。
北京科益虹源:准分子光源制造商
3.光学系统:
波长光电:DUV光刻机投影物镜量产企业，适合65nm以下工艺。
奥普光电:光刻机工作台市占率60%
茂莱光学:进入上海微电子供应链
4.精密部件与设备:
蓝英装备:清洗设备，进入阿斯迈供应链
华卓精科:突破双工作台
富创精密:量产7nm设备零部件，提供光刻机真空腔体，进入台积电供应链。
5.材料与辅助系统:
南大光电:打破美日垄断，量产ArF光刻胶
彤程新材:量产KrF光刻胶
美埃科技:光刻洁净系统主要供应商
行业现状:国家大基金三期投入，目标2030实现高端设备自主权。部分环节还需突破。
