电子束光刻机的事一出来，我就知道，出口管制完蛋了！ 不是因为0.6nm精度，而是它瞄准了芯片研发最痛的初试环节。传统光刻调试需重制百万美元的掩膜版，而"羲之"可像编辑文档般修改电路。华为海思等企业迅速接洽印证了需求。当中国用国产设备降低研发成本，封锁便失去支点。 国产“羲之”电子束光刻机的消息在中国半导体圈传开。中国科学院微电子研究所向外界正式介绍了这台设备，并公布了关键数据。 根据新华社和央视新闻等主流媒体的第一手报道，这台国产设备能实现0.6纳米级别的线宽分辨率。 看似是技术参数的进步，但其实真正让中国芯片圈兴奋的，是它把芯片研发环节里最大的一道“坎”给迈过去了。 过去，芯片试做必须依赖海外提供的掩膜版，每次设计调整都得重新买，花钱多、等得久，非常让人头疼。 如今，有了“羲之”电子束直写光刻机，相当于把设计和打样过程变得像写文档一样灵活，芯片研发就顺畅多了。 其实，掩膜版一直是中国芯片行业“卡脖子”的地方。自2019年起，美国等西方国家不断升级对中国半导体的出口管制，最直接的就是高端光刻机和配套消耗品都被限制。 2023年10月，荷兰ASML公司就公开宣布，按照荷兰政府要求，对中国出口最先进的极紫外光刻机（EUV）和部分深紫外光刻机（DUV）要严格控制。 更关键的是，掩膜版的生产也高度依赖国外厂商。一个芯片项目，研发初期有无数次电路改动，每次都要重做掩膜版，等一次就要几周甚至几个月，而且一个掩膜版动辄上百万美元。 这样一来，芯片设计公司不光成本高，创新周期也被严重拖慢。小企业根本玩不起，大企业也叫苦不迭。 中科院微电子研究所其实早在2020年就意识到这个问题，立项攻关电子束直写光刻机，目标就是让中国芯片设计师彻底摆脱对进口掩膜版的依赖。 根据央视新闻和工信部的公开报道，这套设备的最大亮点就是“哪里想改哪里”，只要在电脑上改好电路图，设备就能直接“写”到硅片上，不用等掩膜版。 2022年中科院团队攻克了核心技术难题，到2024年初样机完成并进入调试阶段。 “羲之”这个名字也有说法，是借用中国古代书法家的名号，寓意写芯片像写字一样自如。实际操作上，电子束光刻机是靠高能电子束直接在光刻胶上画出电路，不再“照搬”掩膜版的图案。 这种方式，修改起来特别快，失败几次也没关系，不会造成天价损失。中国科学院方面在新闻发布会上就说得很清楚，有了这台设备，芯片设计企业可以大胆创新，不用总是担心试错成本太高。 2024年6月，华为海思、中芯国际等头部企业就和中科院签了合作协议，准备把这台设备用在新项目的研发打样上。 行业里普遍看法很一致，电子束光刻机不会一上来就取代所有传统光刻机，但在芯片的研发、试产和小批量生产阶段，能极大提高效率，给企业更多试错和创新的机会。 对比国外受限的光刻机和掩膜版，这台国产设备相当于帮中国芯片行业打开了一扇新的大门。
海贼王
加油中国
KU2003
可以大大加快研发进度，而且节省成本。[玫瑰]
绿水青山 回复 08-16 13:43
国家科技进步特等奖！
陈醉
好的开始，是成功的一半。
用户13xxx38
天才的构思，完全突破传统，必须点赞。
老高
[赞][赞][赞]
苏米 回复 08-16 04:15
看我前面回复。
花雨满天
写得好！就这还有好多评论说迷糊话。之前研发要用掩膜板，很贵很慢。是因为和生产是一样的（当然是一样的，不然怎么生产？！）。现在直接另开一条战线，等验证完了，再做掩膜板生产。要知道，研发的时间和成本都会影响产品成本的。
啊蔡在ETO 回复 08-16 14:46
虾个毛，湾道超车十多年？超什么出来了么？都是套壳的东西
慕容日落 回复 啊蔡在ETO 08-16 16:47
哦，这么懂？哪些套壳了了？来说说看，你别只说啊，要有证据哦，没证据那是造谣哦！也别不回，别做缩头王八对不！
用户47xxx31
这个早就有了，甚至比光刻机更早，缺点很明显，效率低、容错率低、成本高等等，就是缺点太多，才有光刻机的取代。而且这个技术日本和俄罗斯，乃至美国都有。
下弦月 回复 08-16 16:02
火枪刚做出来时候缺点也很多。
南淅香 回复 08-16 16:47
日本和美国是半导体强国，没话说，俄罗斯怎么有的？你数据来源哪里？你要是在这里口嗨还是尽早删了
雨过天晴
这个好，就好像带擦写的黑板，怎么画写都行。
回望人间
高兴[点赞]国产加油！
米兰卡卡
好样的，中国[点赞]
苏米
小编[点赞][点赞][点赞]①电子束光刻机适合实验室打样：1326束电子1小时只能刻1片晶元。 ②EUV与DUV光刻机适合量产。(每天每台3000片12寸硅晶元，相当于100万片5060ti显示芯片)
绿水青山 回复 08-16 13:41
我们最大的优势是“不惜一切代价”！我们可以用几百万台同时搞！
A-A_TAO 回复 08-16 13:27
不是打败不打败，有时候也是无奈之举，如果有一天人家真的全面限制，连芯片都不卖给你，你怎么办？谁不知道这样成本高又没效率，但我们有得选吗？euv光刻机并不是说研发就就研发出来的
长平 遗魂
并且带负电，不怕烧了？
永远是多远 回复 08-16 10:17
什么叫负电？电压只是相对的
绿水青山 回复 08-16 13:34
我们研发的只有正能量。
123数数
还没完全成功就得瑟，咋这样没定力啊！
超哥 回复 08-16 13:25
问题是这消息也拦不住啊！门卫大爷和保洁阿姨在菜市场也会传出去，末了还不忘说“千万不要给别人说”
三湖湾繁殖渔场 回复 08-16 16:54
霸气！
地火水风
这样弄慢是慢了点，但省了不少开发的钱。
水东流 回复 08-16 12:50
是研发快，成本低。唉，啥脑子都有。
磊子
相当于锻造和激光成型，一个批量有优势，一个适合定制
我是冰
现在这种设备是第一代，如果接着研发第二代、第三代呢？细品吧。
杨不败
保密！防奸！防盗！专利保护！
想家人
一步一步来，马上走出来了，黎明即将到来
默。
这个是真的实用，掩膜版的研发费用占比太高了
用户10xxx87
是真的还是故事啊？
好男人 回复 08-16 15:26
真的，浙江大学联合搞的
fangjoujoy 回复 08-16 14:15
无知又自信
云侠
要于研发阶段可以，批量生产速度差一点。
花开花落
希望是真的，但又怕是为了博眼球编的故事，UC上现在AI文泛滥。
春困秋乏夏打盹 回复 08-16 14:33
不懂，但从九几年水变油，龙芯开始，这类突破太多，最后都是骗局收场，懒得瞎激动了，先观望几年。
cbhua
网上的好文。不像有些自媒体，自己不懂还瞎吹。
老默
我们的思路其实很简单:既然不让我们坐上桌，那我们只能掀了桌。
天堂的鱼
从复写纸印刷到复印机印刷，打破垄断，就像胶片照片到数码照片，淘汰都成白菜价
珠乡俗人
又是一篇意淫文章！
用户17xxx44
无论如何！祖国加油(ง •̀_•́)ง[加油][加油][加油][加油][加油]
烟火
科技有突破当然值得高兴，就怕是自我吹牛逼，在关键零部件还是要用外国产的那样还是被人控制拿捏。
joy
防火防盗防汉奸！！！只要在网上发布卖国言论都拖去做3-5年牢！！！只要有实质卖国叛国行为都判死刑！！！这样子应该才能杜绝层出不穷的汉奸卖国叛国言论及行为吧！！！汉奸叛国卖国的言论及行为成本这么低不会受到任何惩罚，怪不得汉奸卖国贼此起彼伏前仆后继！！！
用户12xxx13
懂电子束是啥不，懂光刻机照射的是什么不，光束是直接刻在硅晶圆上的吗？还电子束光刻机
用户10xxx77
保护好相关工程师，不然又要被国内的汉奸给意外了！
杜国桢
好极了！
rso2002
集成芯片说白了就是一个个硅基半导体开关集群，如果用一个中子轰击一个特殊粒子使其瞬间反转或成为“+”“-”“0”三种状态之一，那么是否会出现新形态的集成电路呢？
混沌初开振兴中华 回复 08-16 12:30
三进制华为已经申请专利了，应该是你说的这样状态，+ - 0
阿宽
真的假的？真的那就太好了，不要像电池一样，昨天说石墨烯电池已量产是未来之光，今天说固态电池已量产是未来之光，明天不知道又是什么电池新概念…
用户49xxx14
你又让老美焦虑了，哈哈
流浪的风
主要是需要加大投入把实验室产品商业化，我们好多优秀项目倒在了从实验室到商业化的路上
用户53xxx85
加油！
微风
换赛道了 [点赞]
fvhydxvhh
一个雕版印刷，一个是激光打印。激光打印提供了按需订制的可能性，后面小型化，再降低成本，必须有很大的市场
用户10xxx99
我的理解是这不是造车，这是加快新款车型研发的速度。不知道对不对？
那个某某
羲之，中国式的浪漫[点赞]
武寒旭
又兴奋了？
随风
如果是真的，那么中科院可以说是居功至伟了！
用户51xxx05
这个0.6nm和芯片的3nm、7nm是什么关系
想说点啥
过了一年了，咋样了？加油！
真理就在导弹射程之内
小步快跑[赞]
岭南说评
弯道超车，还要注意保护啊！
永不停歇
好牛的东西。可能又是独一份的存在
用户16xxx53
政府要保护好我们的科研人员！
江湖壮士
最好是真的，别老糊弄大众
用户88xxx67
这东西经过一年时间的技术调整和产量爬坡，到明年年中就能高良率的大批量生产芯片！阿斯麦时间不多了！吹走乌云遮盖太阳的东风来到了中国！[并不简单]
12345 回复 08-16 14:47
留给阿斯麦的时间不多了，留给美国为首的欧美日等发达国家的时间不多了，我们即将开启一个新时代，到时候让他们看我们的尾灯都看不到[微笑]
哈哈^O^
[赞][赞][赞][赞][赞]
用户19xxx49
但愿不是故事
Chinan
要给科研人员加油，但还没有实质成果出来之前还是专心搞吧，少发这种ppt
用户10xxx11
好技术，看紧口袋，不要被美西方偷了。
用户56xxx88
继续呲，呲呲NB，爽歪歪
体育老师
你们先嗨着，别像当初吹大灰机完全自主，最关键部件还得被卡脖子就行。
随缘
希望是真的
用户11xxx41
厉害了我的国！🇨🇳
用户89xxx20
真正用于生产才来吹吧！以前吹的这么多技术突破，有哪一项真正突破用于了生产。就是简单的高端速控机床，中国真正掌握了吗？吹的天花乱坠的医疗用的核磁共振、CT在医院都是清一色的进口货。还把西门字三个字写的大大点，贴在医院？
单手解bra
看资本市场反应[doge]
MA002
重点是保密工作做好……
一凡芽仔
虽然没有你所说的那么好，但相信会越来越好
静致
向科技人员致敬[点赞][点赞][点赞]
一览众山小乎
要韦神，不要姜萍
碧水春江
小编的文章其实没什么问题，一直强调电子束光刻机的应用场景是小批量，高精度的研发应用。大家就不要讨论量产的事情了。企业也不会拿它去量产[哭着笑]。羲之的进步是很明显的，解决了光源问题，比2024年的商业机迈出了一大步。磁悬浮工作台也是先进水平。并且更有意义的是，带动了整个供应链的发展。比如静电吸盘这东西，以前国产化率不足10%，国内没市场，想发展也没地方卖，是死循环。以后就不一样了。
闲云野鹤
多层的如何刻？
胖子康康 回复 08-16 08:42
这技术就是拿来造掩膜的，不是拿来搞批量生产的。
豆芽2006125 回复 08-16 11:07
堆叠
行者无疆
按说这个如果真能够替代阿斯麦的光刻机，现在世界应该是一个集体炸锅的场景！但是看热度，连 deepseek 当初的热度都没有，当然现在 dep 啥样也都清楚！
遍净天
上次网上文章说是8纳米线宽，0.6纳米精度，我没明白：线宽和精度的关系，以及与当前台积电5纳米工艺比较，是我们差一点，还是我们超过了？
绿水青山 回复 08-16 13:42
绝对遥遥领先！
用户10xxx19
据说是外资控股的？
三湖湾繁殖渔场
比看到这件事更让人激动的是，原本觉得评论区又被那些站不起来的货霸屏。没想到竟然没有，腰板儿越来越硬的国人终于有底气说话。总体来说，可以不优秀，但是我们有了，所以趋势往往比现状更重要。就喜欢他们看不惯有干不掉的样子！过瘾！
斗篷幽灵
假的，前几天就有报道中微子的
不下雨的云
这么说吧，传统光刻机就是活字印刷，排版做模，印刷看效果，错了重新排版，但排好版后产量高。而电子束光刻机就是第一台机械打印机，即错即改，论生产谁快？当然是活字印刷快，但纠错成本还是机械打印机低对吧。如果机械打印机更新换代到电子印刷机呢？
用户16xxx09
5nm制程成了，美国的管制其实已经是废了，5nm通过多次曝光技术可以做到3到4纳米的效果，早够用了。无非就是提高良品率需要2–3年的时间。
用户10xxx02
信这个的除非脑子进水的！现在为了博流量不可能的事吹出花来！年初时吹DK，说英伟达彻底完蛋了，结果如何！
绝对善良
过不了3个月，技术就漏出去了，潜伏和策反的功不可没了，没修改法律泄露直接死刑有些人为了钱什么都能做出来。😡😡😡
思远志华
换个思路，当时的芯片光刻机跑道工厂不知道实验怎么样了
用户10xxx20
吹牛
一帆风顺（海利）
为什么要公布出来？让他们继续蒙在鼓里不好吗？
蓝博基尼
我早说过，科技对中国来说只是时间问题，不是智力问题，以中国人平均100+的智力水平，放眼全球，哪个孙子敢来造次[玫瑰][玫瑰][玫瑰]
用户13xxx53
加油，让西方的光刻机成为废铁
用户11xxx42
这玩意研发出来，是不是可以逐步替代现有光刻机了
用户13xxx89
中国这台电子刻模机从研发到量产共投入多少钱？
体育老师 回复 08-16 15:44
谈钱伤感情
━周而复始━
真的假的，红芯汉芯武汉芯片基地骗局，至今都没有人被处理
游戏人间
别成了骗钱就行
用户10xxx78
加油吧
围城年醉犯保护發
又一个汉芯
A
有些玩意一看到华为厉害，也看到中国厉害，马上急眼
从文明到野蛮
所以小米的三纳米不光突破了…还突破了…以及突破了…最终完成了耶稣看了都瞠目结舌的自研成果。
毛里求丝
为科学家们点👍👍👍👍👍👍👍👍👍👍👍👍
大盘计算所所长
就是以前电子显微镜里面的电子束，聚焦后直接雕刻硅片，相当于用雕刻机雕刻印刷电路板上的铜箔，这个做试验用一下可以，做产品效率太低了，而且太费电了，当然你要是有钱有大量电力，不计成本，搞几十几百万台机器同时雕刻，也可以，就是成本太高恐怕没有竞争力。
用户97xxx86
没必要什么都报，美国人是不见兔子不撒鹰，没到实用它不会服软的。各种提前报道反而打草惊蛇。
战略评论
跟中国人拼科技，就是找死。
用户14xxx22
中国🇨🇳威武 加油加油加油
pkhxm168
伟大的祖国万岁！加油！
77
都是人脑子研究出来的，欧美人可以，我们中国人肯下功夫一定也可以。
发展生态农业
特朗普又被打耳光了[哭笑不得]
啊海很漂亮
造出来根本不用宣传，前两年又谁谁突破了，有谁谁弯道超车了，然而依然落后被封锁，你们不吹牛逼会死吗
陶大
这哪是弯道超车？直接原地起飞了！中国人脑洞大开无所不能！特别是在技术封锁、制裁的环境下更是如此。美西方的噩梦开始了，芯片白菜价开始了，拿着H20当饭吃开始了！没办法啊，两弹一星的故事他们忘记了！
混沌初开振兴中华
雷军，我就是用的这个，所以两三年就研发出3纳米芯片[赞]