这两天半导体设备行业好消息一个接一个:首先是璞璘科技自主研发的PL-SR系列设备

尘封说事 2025-08-14 18:20:35

这两天半导体设备行业好消息一个接一个:首先是璞璘科技自主研发的PL-SR系列设备于2025年8月1日交付国内特色工艺客户，是国内首台半导体级步进式纳米压印光刻系统。能支持线宽＜10nm的纳米压印工艺，超越佳能同类设备FPA-1200NZ2C（支持14nm线宽）。二是8月14日国内首台电子束光刻机“羲之”进入应用测试，精度达到0.6纳米，线宽8纳米。该设备无需掩膜板可灵活修改设计。这两款设备都不简单，填补了国内空白，也打破了长期以来被国外垄断和禁运的局面。

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