国产EUV光刻机突破，即将试产！良率可达70%

新浪财经 2025-06-21 08:15:35

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据爆料东莞松山湖畔的华为工厂里，一台刻着“中国制造”的庞然大物正在全速运转。它投射出的极紫外光束精准落在晶圆上，刻画出仅有头发丝万分之一细的电路。

这不是ASML的机器，而是华为联合国内产业链自主研发的EUV光刻机。现场工程师透露，其核心光源效率已达3.42%，距离国际顶尖水平仅差“最后一公里”。

在华为东莞基地的无尘车间内，首台国产极紫外（EUV）光刻机已完成装机调试，进入芯片试生产流程。

测试数据显示，该设备每小时可处理250片晶圆，超越ASML同级别设备的195片产能。其核心光源采用哈工大研发的激光诱导放电等离子体（LDP）技术，能量转换效率达到ASML方案的2.25倍，设备体积却缩小了30%。

一位参与测试的工程师描述：“当13.5纳米波长的紫色光束首次穿透晶圆时，整个车间爆发出掌声，这意味着我们真正握住了芯片制造的‘光剑’。”

与ASML的二氧化碳激光轰击技术不同，中国团队选择了“换道超车”策略。哈工大开发的放电等离子体极紫外光源（DPP）采用固体脉冲激光器，直接将电能转化为等离子体辐射，省去了复杂的激光放大环节。

这使得设备功耗降低40%，成本仅为进口设备的1/3。更关键的是，该技术完全绕开ASML的LPP（激光等离子体）专利壁垒。

预计2026年就能量产……这速度让人咂舌。对，比你想象得还快一大截。因为这意味着，国产芯片的制造成本至少能减低将近一半。

最令人振奋的，是中国在这条路上的努力得到认可。美国半导体协会的最新报告发出信号：中国与世界顶尖水平的差距已缩短到12个月。“差距缩小，追赶步伐加快”，这话说得真不夸张。产业链上下游的协同创新，效果不可小觑。2026年之前，国产3nm芯片的技术体系基本能闭合，只要一切顺利，关键材料的国产化也会同步推进。

而且，2027年，试产线正式开启。良率能从30%~40%提升到60%~70%。这看似是个指标，其实背后是国产化的全面拉开序幕。2028年，量产规模扩大，满足国内超过70%的需求。成本比国际巨头低20%~25%。你说，这不是大新闻吗？国产的技术优势逐渐清晰，20多年前别人还能靠进口技术吃饭，今天中国自己走出了一条自主创新路。

未来更令人期待的是，随着国产EDA工具、先进封装技术的突破，2028年前后，咱们能自主掌握高端芯片的全部制造环节。到2030年，甚至可能在某些领域实现对国际巨头的局部超越。这意味着什么，不用我多说，全球半导体产业的版图将被重新划定。那些曾经以技术封锁、资本优势立足的公司，还能扼制住我们吗？光刻机的突破，是国家科技实力的一次真正硬核展示。