ASML这回可能押错宝了。
上海微电子那台28纳米光刻机组装车间照片流出，三轴校准台用的是沈阳机床厂零件。调试日志显示去年十月就完成双工件台测试，比原计划提前四个月。有工程师在领英发过激光干涉仪参数，定位精度达到1.3纳米。
华为松山湖基地最近清退了六台ASML的NXT:1980Di，设备科的人在二手平台挂售真空腔体配件。这些机器原本用来生产车载芯片，现在换成自研的SSA800A。虽然晶圆吞吐量降了三分之一，但良品率稳定在92%。
阿斯麦财报显示中国区营收环比下跌四成，但维修服务收入涨了六倍。苏州封测厂的老李说，现在每台DUV设备都配三个荷兰技师，连更换滤光片都要总部授权。这种严防死守反而催生了不少逆向工程工作室，东莞就有三家在做沉浸式液冷系统的仿制。
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用户12xxx24
SSA800 是上海微电子的产品 说中国自研的还差不多