国产光刻机能生产8nm芯片了? 别被流量党们忽悠了,工信部公布的两款光刻机与A

啊健说科技 2024-12-25 23:47:23

国产光刻机能生产8 nm芯片了? 别被流量党们忽悠了,工信部公布的两款光刻机与ASML技术差距高达18年! 工信部公布了两款光刻机,分别是氟化氪和氟化氩光刻机,只说说两款里面最先进的氟化氩。 它的分辨率是65nm,它决定了芯片的精度,也就是说单次曝光能生产的芯片精度就是65nm,多次曝光也只能达到55-65nm精度。 所谓的套刻≤8nm,意思是说每个光刻层之间对齐的精度误差不到8nm,因为芯片是由多个光刻层堆叠而成的,就好比一副扑克牌相互对齐摞起来,每张牌之间对齐的误差是小于等于8nm。 与这款光刻机技术水平相近的荷兰ASML光刻机是其在2006年推出的干式DUV光刻机XT:1450,它的分辨率是57nm,套刻精度为7nm。 当然,之前我们的光刻机的分辨率最小是90nm,从90到65已经是不小的进步了,相信只要我们持续抓下去,离我们彻底干翻ASML也不远了。 我们既不能妄自菲薄,也不能自吹自擂,特别是一些自媒体,还是要在真正地搞清楚了真实情况后,再来写那些鸡血文。

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