澳大利亚迎来了半导体研究领域的里程碑时刻——阿德莱德大学将率先引入国内首套原子层蚀刻（ALE）系统，犹如为量子科技研究插上了精准的"原子手术刀"。日本知名设备制造商SAMCO近日宣布，其旗舰产品RIE-400IP-ALE先进蚀刻系统已通过澳大利亚经销商Ezzi Vision正式售予该大学，预计2025年12月将从京都工厂启运，落户于耗资500万美元新建的量子材料与器件制造实验室。这座即将拔地而起的科研殿堂，将延续该校在物理、工程与材料科学领域的传统优势，并获得澳大利亚研究理事会LIEF计划66万美元的专项资助，由此建成国家级的原子层蚀刻技术基地。

这套被誉为"纳米雕刻大师"的系统，集成了感应耦合等离子体反应离子蚀刻（ICP-RIE）技术，专精于GaN、GaAs等III-V族半导体材料的原子级加工。其独步业界的逐层剥离工艺，兼具蚀刻深度精准控制与表面低损伤特性，宛如在微观世界施展"分子刺绣"，为下一代纳米电子器件与光子器件的研发铺就坦途。

"这不仅是设备落户，更是澳大利亚科研能力的基因升级。"光子学与先进传感研究所的Andy Boes教授难掩振奋，"原子尺度的材料驾驭能力，将让量子技术、光子学等前沿领域突破技术瓶颈。"SAMCO总裁川边塚宪先生亦表示："能为南半球首套ALE设备提供核心技术支持，我们深感荣幸。这既是III-V族材料研究的重大飞跃，也印证了ALE技术在全球半导体产业链中的战略地位。"据悉，这已是SAMCO向海外输出的第二套原子层蚀刻系统，标志着该技术正加速走向国际舞台。

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