果不其然！英国《金融时报》报道，中国正在测试首台国产深紫外（DUV）光刻机，用于更先进芯片与人工智能处理器的生产。 中芯国际用这台裕量晟造的DUV光刻机做测试，设备体积大，银灰外壳，占了大半洁净室空间。技术员连上电源和冷却管，检查底座螺丝，用扳手拧紧。 校准光源时，他们盯屏幕波形，调激光强度，记数据。机器嗡嗡响，光束通过福晶科技的晶体投射，炬光科技组建整形光路，用镊子调位置，对齐到微米级。 裕量晟两年前组装原型，在工作台固定镜片，层层堆叠系统，反复通电测光斑，擦灰尘。代号珠穆朗玛峰的团队轮班测晶体折射率，记曝光结果。 中芯国际曝光28纳米图案，晶圆在对准台移动，误差纳米级。激光击中光阻层，刻电路，通过多重曝光逼近7纳米。工人把晶圆放显影槽，冲多余材料。 这机器针对汽车微控制器、手机图像传感器、AI功率器件，这些占国内市场八成需求。洁净室空气循环保持恒温，工程师标问题，讨论改进。 裕量晟用本土供应链，光源镜头多国产，福晶晶体装光源盒，炬光组件焊接，测均匀度。少数进口件辅助，核心自主。工程师清点部件，用叉车搬箱，确保供应。 过去靠德国蔡司、美国Cymer，现在清华大学破13.5纳米光源，为升级铺路。在实验室搭台，连电源，观稳定性。上海微电子早出65纳米版，裕量晟迭代基础。 国家基金投资金，扶持汇成真空等做真空泵，装机器底，抽空气保洁净。资金打牢产业链。测试初，优良率70%，与国际的90%有差距。工程师调试软件，输算法，看反馈。停机拆壳，查线路，测电阻。 全球芯片市场大，中国过去中低端分羹。现在中高端自给。华为昇腾、寒武纪处理器直接产，不抢二手货。产业链变大，过去求外资，现在本土齐队。 测试反映进步，禁令挡不住。从2019禁EUV，六年破DUV。中芯2022用旧设备出7纳米，2025自产入线。工程师夜班测，换班交日志，记时间。 这台DUV不是吊打谁，而是踩准节点。光刻机十万零件，光学、对准台、软件缺一不行。裕量晟光源镜头国产，福晶供晶体，炬光做组件，把卡脖子环节换自家。 少数依赖进口，后续替。业内说，这机重新设计，花两年研，跟逆向工程不同。ASML NXT系列初也停机调，问题正常，关键自修优化，不求人。 制裁喊“锁死”中国芯片，结果中芯用老DUV出7纳米，2025自家机入线。芯片市场20万亿，中国从中低端到中高端端碗。