中国造出了比‘光刻机’还要贵的大国重器！10亿一台！比光刻机还金贵的OLED蒸镀机，中国终于自己造出来了，合肥欣奕华集团2019年打破日本20年垄断，精度干到1.5微米，直接碾压日本货。 OLED蒸镀机在显示产业中单价接近10亿元，超过光刻机，这种设备用于柔性屏和折叠屏生产，在真空环境下将有机材料沉积到基板上，形成发光像素。日本佳能Tokki公司过去占据市场90%份额，交货周期长达18个月，价格高，售后慢，核心参数不公开，限制中国面板企业发展。合肥欣奕华2014年组建百人研发团队，选择正向开发，不依赖引进，从零开始构建技术体系。团队针对蒸镀速率、膜厚均匀性和设备稳定性三大难题开展实验。 初期，他们调整真空控制，模拟材料挥发，优化温度和气流，防止尘埃干扰。工程师设计分子喷泉模型，预测蒸镀动态，提高蒸发源精度，确保分子均匀分布。精密传动环节，开发高精度对位系统，误差在微米内，通过上千次调试，保障连续运行数百小时。过程中，面对材料挥发不稳，反复修改源头结构，引入陶瓷点源，提升沉积效率。2015年，三星向日本订购10台G6代机器，每台10亿元，这刺激合肥欣奕华加速，与国产供应商协作解决工艺难题，独立加工部件。 研发中，搭建无经验平台，从设计图纸入手，处理零部件短缺，布局真空系统、热蒸发源、精密对位和运动控制四大模块，投入超20亿元。初期无样本，通过模拟软件测试动力学模型，调整蒸发源同步，确保几十个源头协调，膜厚误差小。灰尘成障碍，优化洁净车间，每立方米颗粒限一千，使用机械臂转移基板，减少接触。设备运行，超高真空稳定，材料喷涂无偏移，面板良率提高。 2019年，首台G6代OLED蒸镀机交付，对位精度1.5微米，膜厚均匀性误差低于1%，优于日本5微米。采购成本降20%-30%，交货缩短，售后加快。这实现从进口依赖到自主供给，京东方和TCL华星受益，产能灵活。突破源于对蒸镀动力学模拟，还优化Inline钙钛矿镀膜，扩展光伏。设备支持2000PPI硅基屏，满足高端产品，经SGS验证，超过佳能Tokki。国产机在蒸镀速率和成膜均一性领先，提供本土运维，提升效率。这标志显示装备从跟跑到领跑，为产业链自主化注入动力。