数据显示，2月12日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购2111.79万元，位居当日股票ETF净流入排名53/1127。最新规模81.6亿元，前一日规模81.3亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为0.26%。

近5日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购1.73亿元，位居股票ETF净流入排名第40/1127。近10日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购109.15万元，位居股票ETF净流入排名第398/1127。近20日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购34.88亿元，位居股票ETF净流入排名第11/1127。

华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)已连续3日资金获净申购，区间净流入额1.49亿元。

华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）成立于2025年3月24日，基金全称为华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模方面，截止2月12日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）最新份额为46.33亿份，最新规模为81.6亿元。回顾2025年12月31日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）份额为24.47亿份，规模为36.77亿元。即该基金今年以来份额增加89.33%，规模增加121.91%。

流动性方面，截止2月12日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）近20个交易日累计成交金额215.45亿元，日均成交金额10.77亿元；今年以来，29个交易日，累计成交金额293.84亿元，日均成交金额10.13亿元。

华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）现任基金经理为杨斯琪。杨斯琪自2025年3月24日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益76.13%。

最新定期报告显示，华夏基金（588170）重仓股包括拓荆科技、华海清科、沪硅产业、中微公司、中科飞测、安集科技、芯源微、天岳先进、华峰测控、盛美上海，持仓占比如下：

股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）688072拓荆科技10.08%112.34万3.71亿688120华海清科9.64%236.11万3.54亿688126沪硅产业9.40%1596.59万3.46亿688012中微公司8.61%116.14万3.17亿688361中科飞测8.35%200.70万3.07亿688019安集科技6.66%112.43万2.45亿688037芯源微6.22%153.90万2.29亿688234天岳先进4.95%204.78万1.82亿688200华峰测控4.68%90.45万1.72亿688082盛美上海4.39%91.61万1.61亿

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、科半导体（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

代码名称基金规模(亿元)20260212近1月日均成交额(亿元)净申购(亿元)20260212近1周净申购(亿元)近1月净申购(亿元)基金公司588170华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF81.6010.510.211.7335.59华夏基金588710科半导体17.522.77-0.11-0.234.74华泰柏瑞基金589020鹏华科创板半导体材料设备主题ETF6.180.970.0000-0.092.62鹏华基金