国内光刻机&光刻胶产业10大核心企业1. 张江高科：主营科技投资、园区运营，子公司持上海微电子10.78%股权，布局光刻机产业链投资，上海微电子28nm DUV光刻机已稳定交付中芯国际。2. 茂莱光学：研发销售精密光学器件/镜头，光刻机核心光学组件深紫外透镜通过28nm DUV验证，2025年光刻前道量测技术样机完成工艺改善，即将小批量试制。3. 福晶科技：主营非线性光学晶体，LBO/BBO晶体全球市占率领先，是ASML光刻光源核心供应商，切入国产DUV光源供应链。4. 北方华创：布局半导体装备及光刻机机械传动部件，攻克双工件台0.1纳米级高精度控制技术，供货上海微电子，拿下光刻机30%高价值环节，配套HBM核心设备。5. 南大光电：深耕半导体材料，国内率先实现ArF高端前道光刻胶量产，14nm浸没式产品通过验证，主攻28nm及以上制程国产替代。6. 彤程新材：主营高分子材料及全品类光刻胶，国内KrF光刻胶最大量产供应商（市占率40%），自产树脂降本35%，ArF产品供中芯国际，与ASML合作开发EUV封装技术。7. 上海新阳：提供半导体材料解决方案，KrF光刻胶年销破800吨，与贺利氏共建EUV光刻胶实验室，显影/蚀刻液与光刻胶协同销售占比35%，2026年冲刺Intel认证。8. 安集科技：专注半导体湿电子化学品，光刻胶去除剂适配14nm以下先进制程，打破国外垄断，客户覆盖中芯国际、长江存储。9. 奥普光电：依托长春光机所攻坚EUV光刻机核心光学系统，物镜系统定位精度0.8nm适配3nm制程，对标蔡司，突破EUV反射镜成像技术。10. 雅克科技：布局光刻胶上游核心原料及面板光刻胶，为国内光刻胶企业供关键原料，面板光刻胶稳供LG Display，光刻胶业务营收占比27%。