新加坡学者王国辉:中国EUV光刻机若量产,芯片战将结束。 2025年1月3日,哈工大研发出DPP - EUV极紫外光源,波长达13.5纳米,输出功率120瓦,能连续运行100小时,波动幅度在0.8%以内。它通过高压电场直接激发等离子体,结构简单,体积缩小约三成,成本降低超三成,避开了国外专利集中领域。 从2023年推进项目,2024年获资金与奖项,到2025年成果不断。1月新型光源能帮中芯国际降低7纳米芯片生产成本20%,引发市场波动;2月长春光机所测试反射镜有成果;3月新凯来完成7纳米曝光实验。 新加坡学者王国辉认为,若国产EUV光刻机量产,芯片战即结束。他看好中芯国际,因其资金足、有政府支持,国内工程人才多,还有巨大国内市场,能实现规模经济。
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